ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນແມ່ນເງື່ອນໄຂການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມທົ່ວໄປໃນການດໍາເນີນງານຂອງຫ້ອງສະອາດ. ມູນຄ່າເປົ້າຫມາຍຂອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພີ່ນ້ອງໃນຫ້ອງສະອາດ semiconductor ໄດ້ຖືກຄວບຄຸມໃຫ້ຢູ່ໃນລະດັບ 30 ຫາ 50%, ອະນຸຍາດໃຫ້ຄວາມຜິດພາດຢູ່ໃນຂອບເຂດແຄບຂອງ ±1%, ເຊັ່ນ: ພື້ນທີ່ photolithographic - ຫຼືແມ້ກະທັ້ງຂະຫນາດນ້ອຍກວ່າໃນພື້ນທີ່ການປຸງແຕ່ງ ultraviolet ໄກ (DUV). – ໃນສະຖານທີ່ອື່ນໆ, ທ່ານສາມາດພັກຜ່ອນພາຍໃນ ± 5%.
ເນື່ອງຈາກວ່າຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພີ່ນ້ອງມີປັດໃຈຈໍານວນຫນຶ່ງທີ່ອາດຈະປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການປະຕິບັດໂດຍລວມຂອງຫ້ອງສະອາດ, ລວມທັງ:
●ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງເຊື້ອແບັກທີເລຍ;
●ລະດັບຄວາມສະດວກສະບາຍທີ່ພະນັກງານຮູ້ສຶກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ;
● ການເກັບຄ່າຄົງທີ່ປະກົດຂຶ້ນ;
● corrosion ໂລຫະ;
●ການຂົ້ນຂອງອາຍນ້ໍາ;
● ການເຊື່ອມໂຊມຂອງ lithography;
●ການດູດຊຶມນ້ໍາ.
ເຊື້ອແບັກທີເຣັຍແລະສິ່ງປົນເປື້ອນທາງຊີວະພາບອື່ນໆ (ແມ່ພິມ, ໄວຣັສ, ເຊື້ອເຫັດ, ແມງ) ສາມາດແຜ່ຂະຫຍາຍຢ່າງຫ້າວຫັນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງກວ່າ 60%. ພືດບາງຊະນິດສາມາດເຕີບໂຕໄດ້ເມື່ອຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງເກີນ 30%. ເມື່ອຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງຢູ່ລະຫວ່າງ 40% ຫາ 60%, ຜົນກະທົບຂອງເຊື້ອແບັກທີເຣັຍແລະການຕິດເຊື້ອທາງເດີນຫາຍໃຈສາມາດຫຼຸດຜ່ອນໄດ້.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງຢູ່ໃນລະດັບ 40% ຫາ 60% ຍັງເປັນລະດັບປານກາງທີ່ມະນຸດຮູ້ສຶກສະດວກສະບາຍ. ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຫຼາຍເກີນໄປສາມາດເຮັດໃຫ້ຄົນຮູ້ສຶກຊຶມເສົ້າ, ໃນຂະນະທີ່ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕ່ໍາກວ່າ 30% ສາມາດເຮັດໃຫ້ຄົນຮູ້ສຶກແຫ້ງ, ເປັນບວມ, ຫາຍໃຈບໍ່ສະດວກແລະຄວາມຮູ້ສຶກບໍ່ສະບາຍ.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສະສົມຂອງຄ່າ static ຢູ່ດ້ານຂອງຫ້ອງສະອາດ - ນີ້ແມ່ນຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຕ້ອງການ. ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕ່ໍາແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການສະສົມຂອງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະແຫຼ່ງທີ່ອາດທໍາລາຍການໄຫຼຂອງ electrostatic. ເມື່ອຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງເກີນ 50%, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຄົງທີ່ເລີ່ມຕົ້ນທີ່ຈະ dissipate ຢ່າງໄວວາ, ແຕ່ເມື່ອຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງແມ່ນຫນ້ອຍກວ່າ 30%, ພວກເຂົາສາມາດຄົງຢູ່ເປັນເວລາດົນນານໃນ insulator ຫຼືດ້ານ ungrounded.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງລະຫວ່າງ 35% ແລະ 40% ສາມາດເປັນການປະນີປະນອມທີ່ຫນ້າພໍໃຈ, ແລະຫ້ອງສະອາດ semiconductor ປົກກະຕິແລ້ວໃຊ້ການຄວບຄຸມເພີ່ມເຕີມເພື່ອຈໍາກັດການສະສົມຂອງຄ່າ static.
ຄວາມໄວຂອງປະຕິກິລິຍາເຄມີຈໍານວນຫຼາຍ, ລວມທັງຂະບວນການ corrosion, ຈະເພີ່ມຂຶ້ນຍ້ອນວ່າຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພີ່ນ້ອງເພີ່ມຂຶ້ນ. ພື້ນຜິວທັງຫມົດທີ່ສໍາຜັດກັບອາກາດອ້ອມຂ້າງຫ້ອງສະອາດແມ່ນປົກຄຸມຢ່າງໄວວາດ້ວຍນ້ໍາ monolayer ຢ່າງຫນ້ອຍຫນຶ່ງ. ເມື່ອພື້ນຜິວເຫຼົ່ານີ້ປະກອບດ້ວຍການເຄືອບໂລຫະບາງໆທີ່ສາມາດປະຕິກິລິຍາກັບນ້ໍາ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງສາມາດເລັ່ງປະຕິກິລິຍາໄດ້. ໂຊກດີ, ບາງໂລຫະ, ເຊັ່ນອາລູມິນຽມ, ສາມາດປະກອບເປັນ oxide ປ້ອງກັນນ້ໍາແລະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ເກີດປະຕິກິລິຍາ oxidation ຕື່ມອີກ; ແຕ່ກໍລະນີອື່ນ, ເຊັ່ນ: ທອງແດງອອກໄຊ, ບໍ່ປ້ອງກັນ, ດັ່ງນັ້ນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງ, ດ້ານທອງແດງແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການກັດກ່ອນ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂ້ອນຂ້າງສູງ, photoresist ໄດ້ຖືກຂະຫຍາຍອອກແລະຮ້າຍແຮງຂຶ້ນຫຼັງຈາກວົງຈອນການອົບເນື່ອງຈາກການດູດຊຶມຂອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ. ການຍຶດເກາະ Photoresist ຍັງສາມາດໄດ້ຮັບຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງທີ່ສູງຂຶ້ນ; ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງຕ່ໍາ (ປະມານ 30%) ເຮັດໃຫ້ການຍຶດຕິດຂອງ photoresist ງ່າຍຂຶ້ນ, ເຖິງແມ່ນວ່າບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງມີຕົວດັດແປງໂພລີເມີ.
ການຄວບຄຸມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພີ່ນ້ອງຢູ່ໃນຫ້ອງທໍາຄວາມສະອາດ semiconductor ບໍ່ແມ່ນຕົນເອງ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເມື່ອເວລາປ່ຽນແປງ, ມັນດີທີ່ສຸດທີ່ຈະທົບທວນຄືນເຫດຜົນແລະພື້ນຖານຂອງການປະຕິບັດທີ່ຍອມຮັບໂດຍທົ່ວໄປ.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນອາດຈະບໍ່ສັງເກດເຫັນໂດຍສະເພາະສໍາລັບຄວາມສະດວກສະບາຍຂອງມະນຸດຂອງພວກເຮົາ, ແຕ່ມັນມັກຈະມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຂະບວນການຜະລິດ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນບ່ອນທີ່ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງ, ແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນມັກຈະເປັນການຄວບຄຸມທີ່ຮ້າຍແຮງທີ່ສຸດ, ຊຶ່ງເປັນເຫດຜົນໃນການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນແມ່ນມັກ.
ເວລາປະກາດ: ກັນຍາ-01-2020